机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2019 [1]
• 2011 [1]

学科主题

• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 A method of servo system resonance suppression based on Structure filter 期刊论文  OAI收割 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2019, 卷号: 27, 期号: 8, 页码: 1811-1818 作者:  S.-T.Zhang;  B.Zhang;  X.-T.Li;  X.-Q.Xia;  F.Qian   |  收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2020/08/24 Notch filters,Control engineering,Control systems,Electromechanical filters,Low pass filters,Models,Passive filters,Resonance   Fabrication and characterisation of polysilicon-based clamped-clamped filter 期刊论文  OAI收割 key engineering materials, 2011, 卷号: 483, 页码: 112-116 Zhao, Yongmei; Ning, Jin; Han, Guowei; Si, Chaowei 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/06/14 Electromechanical filters  Fabrication  Microelectromechanical devices  Nanotechnology  Polysilicon  Resonators  Technology