机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 0.1—0.3μmX射线光刻技术在GaAs器件制作中的应用 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 4，182-185 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  Phemt  T型栅  Gaas器件制作