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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 刘奇斌; 张楷亮; 王良咏; 封松林; 宋志棠 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/18 Ge2Sb2Te5 相变存储器 化学机械抛光 电化学 抛光液