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• 力学研究所 [1]

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• OAI收割 [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2025 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Investigation of surface morphology and dimensions in picosecond laser scribing of silicon wafer 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2025, 卷号: 131, 期号: 9, 页码: 16 作者:  Shu Z(舒壮);  Tian CX(田崇鑫);  Zhang YM(张艳梅);  Li ZY(李志永);  Li, Peng   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2025/09/15 Silicon scribing  Picosecond laser ablation  Surface morphology  Groove dimensions  Processing efficiency