机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 期号: 01 王文辉; 唐衍哲; 戈肖鸿; 吴亚明; 杨建义; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 栅发射  C薄膜  Hf薄膜  BaO