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力学研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2022 [1]
2020 [1]
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共2条,第1-2条
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Application of positive pulse to extract ions from HiPIMS ionization region
期刊论文
OAI收割
VACUUM, 2022, 卷号: 204, 页码: 11
作者:
Li, Liuhe
;
Gu, Jiabin
;
Xu Y(许亿)
;
Han, Mingyue
;
Bilek, MarcelaMilenaMarie
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提交时间:2022/12/20
High power impulse magnetron sputtering
(HiPIMS)
Ions extraction method
PIC-MCC simulation
Microscopic mechanism of ions extraction
Synthesis and characterization of super-hard AlCrTiVZr high-entropy alloy nitride films deposited by HiPIMS
期刊论文
OAI收割
Applied Surface Science, 2020, 卷号: 523, 期号: 1, 页码: 146529
作者:
Xu Y(许亿)
;
Li G(李光)
;
Xia Y(夏原)
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2020/05/14
High entropy alloy (HEA) nitride filmsHigh power impulse magnetron sputtering (HiPIMS)Super-hardN2 gas flow rateMicrostructureMechanical properties