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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜 会议论文  OAI收割 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003 邢玉梅; 陶凯; 俞跃辉; 宋朝瑞; 郑志宏 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2012/01/18 IBED方法 SOI 氧化铪薄膜 离子束辅助增强沉积系统 X射线衍射技术 电介质绝缘性能