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Nano-photomask fabrication using focused ion beam direct writing 期刊论文  OAI收割
CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2010, 卷号: 59, 期号: 1, 页码: 543-546
作者:  Fang, F. Z.;  Xu, Z. W.;  Hu, X. T.;  Wang, C. T.;  Luo, X. G.
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