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Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image 期刊论文  OAI收割
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yang, Jishuo;  Xu, Dongbo
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/11/28
Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image 期刊论文  OAI收割
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yang, Jishuo;  Xu, Dongbo
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28
国际主流光刻机研发的最新进展 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2007, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 57, 64
袁琼雁; 王向朝
收藏  |  浏览/下载：1079/153  |  提交时间：2009/09/18