机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Inductively coupled plasma etching of two-dimensional inp/ingaasp-based photonic crystal 期刊论文  iSwitch采集 Acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 2, 页码: 977-981 作者:  Ma Xiao-Tao;  Zheng Wan-Hua;  Ren Gang;  Fan Zhong-Chao;  Chen Chang-Hui 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2019/05/12 Two-dimensional photonic crystal  Inp/ingaasp  Inductively coupled plasma  C-2/bcl3  Low bias etching