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	基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 吕兴东收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2016/06/02 MEMS驱动器洛伦兹力折叠梁大位移可变光衰减器射频开关
	大量程高精度光学间距测量系统的研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者: 师中华收藏 \| 浏览/下载：61/0 \| 提交时间：2016/11/28 光学镜头，镜面间距，低相干测量，MEMS光开关，差分测量
	电光陶瓷和微机械光束导向技术的研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者: 董作人收藏 \| 浏览/下载：90/0 \| 提交时间：2016/11/28 PLZT 光学相控阵 MEMS 光开关 CCD FPGA
	直扩接收机基带迟早门跟踪环的简化设计期刊论文 OAI收割无线通信技术, 2003, 期号: 04 何龙科; 杨根庆收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2012/01/06 MEMS光开关 (110)硅各向异性腐蚀深反应离子刻蚀