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机构
上海光学精密机械研究... [2]
上海微系统与信息技术... [1]
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [3]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [2]
2009 [1]
2003 [1]
学科主题
半导体器件 [1]
微电子学 [1]
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共4条,第1-4条
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基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
吕兴东
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/06/02
MEMS驱动器
洛伦兹力
折叠梁
大位移
可变光衰减器
射频开关
大量程高精度光学间距测量系统的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
师中华
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2016/11/28
光学镜头,镜面间距,低相干测量,MEMS光开关,差分测量
电光陶瓷和微机械光束导向技术的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
董作人
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浏览/下载:90/0
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提交时间:2016/11/28
PLZT
光学相控阵
MEMS
光开关
CCD
FPGA
直扩接收机基带迟早门跟踪环的简化设计
期刊论文
OAI收割
无线通信技术, 2003, 期号: 04
何龙科
;
杨根庆
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提交时间:2012/01/06
MEMS光开关
(110)硅各向异性腐蚀
深反应离子刻蚀