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MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 385-387
张博军,赵湛,陈绍凤
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2010/09/02