机构

• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于MEMS技术的温湿压集成传感器 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 166-168 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/09/02 MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜