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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Chemical mechanical polishing and a succedent reactive ion etching processing of sapphire wafer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2007, 卷号: 154, 期号: 3, 页码: H166-H169 Wang, LY; Zhang, KL; Song, ZT; Feng, SL 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/24 MIXED ABRASIVE SLURRIES  PLASMAS  FILMS  PH