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机构
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2007 [1]
学科主题
光学薄膜 [1]
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浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
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用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
|
浏览/下载:1350/214
|
提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
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反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
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