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宁波材料技术与工程研... [1]
合肥物质科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2010 [2]
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磁控溅射MoSiCN硬质薄膜的制备与性能
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2010, 期号: 3
吕鹏辉
;
倪浩明
;
崔平
;
陈建敏
;
方前锋
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提交时间:2010/10/09
纳米复合
纳米晶MoN/非晶SiCNx
MoSiCN薄膜
抗氧化性
摩擦因数
磁控溅射MoSiCN硬质薄膜的制备与性能
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2010, 卷号: 023
作者:
吕鹏辉
;
倪浩明
;
崔平
;
陈建敏
;
方前锋
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2020/10/26
纳米复合
纳米晶MoN/非晶SiCNx
MoSiCN薄膜
抗氧化性
摩擦因数