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• 上海光学精密机械研究... [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2014 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image 期刊论文  OAI收割 opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623 作者:  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yang, Jishuo;  Xu, Dongbo 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/11/28 NIJBOER-ZERNIKE APPROACH  POINT-SPREAD FUNCTIONS  PHASE-SHIFTING MASK  LITHOGRAPHIC TOOLS  PROJECTION OPTICS  COMA MEASUREMENT  ILLUMINATION  COMPUTATION   Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image 期刊论文  OAI收割 opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623 作者:  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yang, Jishuo;  Xu, Dongbo 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 NIJBOER-ZERNIKE APPROACH  POINT-SPREAD FUNCTIONS  PHASE-SHIFTING MASK  LITHOGRAPHIC TOOLS  PROJECTION OPTICS  COMA MEASUREMENT  ILLUMINATION  COMPUTATION