机构

• 金属研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 2002 [1]
• 1999 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012 张林 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2013/04/12 等离子体增强化学气相沉积法  氢化纳米硅薄膜  微观结构  PECVD  nc-Si:H film  microstructure   LFRF-PECVD法制备碳纳米管材料的工艺、微结构及场发射性能的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2002 于伟东 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/03/06 LFRF-PECVD法  碳纳米管  生长工艺  微结构  电子场发射   TiO_2纳米粒子膜的表面态性质对光催化活性的影响 期刊论文  OAI收割 高等学校化学学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 1787-1789 曹亚安; 丁兰; 马颖; 管自生; 谢腾峰; 张昕彤; 吴志芸; 白玉白; 李铁津; 姚建年; 吴越 收藏  |  浏览/下载：297/46  |  提交时间：2010/11/04 TiO_2纳米粒子膜  PECVD法  SPS  表面态  光催化活性