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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 11, 页码: 2317-2322 Yang, YL; Chen, Y; Xu, PC; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/12/17 PIEZORESISTIVE READ-OUT  SENSOR  MICROCANTILEVERS  TMAH/IPA  MODEL