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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 学位论文 [1]
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• 2011 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 聚苯乙烯/氧化硅核壳型复合磨料的制备及其在铜化学机械抛光的应用研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2011 张磊 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2013/04/24 硅溶胶  PS/SiO2  核壳结构  复合磨料  铜化学机械抛光   一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 05 张磊; 汪海波; 张泽芳; 王良咏; 刘卫丽; 宋志棠 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/04/13 PS/SiO2  复合磨料  铜  化学机械抛光