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机构
金属研究所 [2]
半导体研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [3]
iSwitch采集 [1]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2000 [4]
学科主题
半导体材料 [1]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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Influence of phosphine flow rate on si growth rate in gas source molecular beam epitaxy
期刊论文
iSwitch采集
Journal of crystal growth, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
作者:
Gao, F
;
Huang, DD
;
Li, JP
;
Lin, YX
;
Kong, MY
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提交时间:2019/05/12
Si growth rate
P doping
Ph3 flow rate
P segregation
Gsmbe
Influence of phosphine flow rate on Si growth rate in gas source molecular beam epitaxy
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
作者:
Gao, F
;
Huang, DD
;
Li, JP
;
Lin, YX
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提交时间:2021/02/02
Si growth rate
P doping
PH3 flow rate
P segregation
GSMBE
Influence of phosphine flow rate on Si growth rate in gas source molecular beam epitaxy
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
作者:
Gao, F
;
Huang, DD
;
Li, JP
;
Lin, YX
;
Kong, MY
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提交时间:2021/02/02
Si growth rate
P doping
PH3 flow rate
P segregation
GSMBE
Influence of phosphine flow rate on Si growth rate in gas source molecular beam epitaxy
期刊论文
OAI收割
journal of crystal growth, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
Gao F
;
Huang DD
;
Li JP
;
Lin YX
;
Kong MY
;
Sun DZ
;
Li JM
;
Lin LY
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提交时间:2010/08/12
Si growth rate
P doping
PH3 flow rate
P segregation
GSMBE
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
SI1-XGEX
PHOSPHORUS
SI2H6
DISILANE
SI(100)
MBE