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力学研究所 [1]
沈阳自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2025 [1]
2020 [1]
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Investigation of surface morphology and dimensions in picosecond laser scribing of silicon wafer
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2025, 卷号: 131, 期号: 9, 页码: 16
作者:
Shu Z(舒壮)
;
Tian CX(田崇鑫)
;
Zhang YM(张艳梅)
;
Li ZY(李志永)
;
Li, Peng
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提交时间:2025/09/15
Silicon scribing
Picosecond laser ablation
Surface morphology
Groove dimensions
Processing efficiency
Microanalysis of molybdenum-copper stainless steel samples by picosecond laser-induced breakdown spectroscopy
期刊论文
OAI收割
MICROCHEMICAL JOURNAL, 2020, 卷号: 158, 页码: 1-8
作者:
Wang W(汪为)
;
Sun LX(孙兰香)
;
Zhang P(张鹏)
;
Qi LF(齐立峰)
;
Zheng LM(郑黎明)
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提交时间:2020/10/18
Microanalysis
Laser-induced breakdown spectroscopy
LIBS
Picosecond laser
Ablation
Crater