机构

• 光电技术研究所 [1]
• 高能物理研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2015 [1]
• 2007 [1]
• 2005 [1]

学科主题

• Physics [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Adjustment Strategy for Inclination Moire Fringes in Lithography by Spatial Frequency Decomposition 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/07/10 Proximity lithography  mask-wafer alignment  phase analysis  spatial frequency   Systematic considerations for the patterning of photonic crystal devices by electron beam lithography 期刊论文  iSwitch采集 Optics communications, 2007, 卷号: 271, 期号: 1, 页码: 241-247 作者:  Yu, Hejun;  Yu, Jinzhong;  Sun, Fei;  Li, Zhiyong;  Chen, Shaowu 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/05/12 Photonic crystal  E-beam lithography  Resist  Stitching error  Proximity effect correction   Fabrication of silicon nitride/refractory metal tantalum X-ray mask and its application 期刊论文  OAI收割 HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2005, 卷号: 29, 页码: #REF! 作者:  Xie, CQ;  Niu, JB;  Wang, DQ;  Dong, LJ;  Chen, DP 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/04/12 proximity X-ray lithography  X-ray mask  TaSi film  inductively coupled plasma  synchrotron radiation