机构

• 长春光学精密机械与物... [2]
• 上海技术物理研究所 [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]
• 文献情报中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]
• 研究报告 [1]

发表日期

• 2021 [1]
• 2017 [1]
• 2011 [2]
• 2009 [1]

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]
• 能源科学技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 环保型SF6替代气体调研（2021） 研究报告  OAI收割 2021 作者:  孟欢欢;  靳军宝;  郑玉荣;  白光祖   |  收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2021/12/23 环保型  Sf6替代气体   六氟化硫气体质量在线检测和分析系统的设计及应用 期刊论文  OAI收割 大气与环境光学学报, 2017, 卷号: 012 作者:  袁小芳;  马凤翔;  赵跃;  宋玉梅;  王海飞   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2020/11/25 SF6气体质量  在线检测  检测效率   基于红外序列图像的SF_6检漏定位系统 会议论文  OAI收割 中国辽宁沈阳 作者:  毕国玲;  赵建 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/19 检漏定位  红外序列图像  差分相乘  形态滤波  SF_6气体   基于红外图像的SF_6检漏定位系统 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2011, 期号: 03, 页码: 76-80 作者:  隋龙;  毕国玲;  赵建;  张艳超 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 检漏定位  红外图像  帧间差分  局部熵差  SF6气体   短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  宁锦华   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。