机构

• 微电子研究所 [1]
• 文献情报中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 专利 [1]
• 研究报告 [1]

发表日期

• 2021 [1]
• 2007 [1]

学科主题

• 能源科学技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 环保型SF6替代气体调研（2021） 研究报告  OAI收割 2021 作者:  孟欢欢;  靳军宝;  郑玉荣;  白光祖;  付爽   |  收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2021/12/23 环保型  Sf6替代气体   一种纳米尺度W/TiN复合难熔金属栅制备方法 专利  OAI收割 专利号: CN101217112, 申请日期: 2007-01-04, 公开日期: 2008-07-09, 2010-11-26 作者:  李瑞钊;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/11/26