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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 氧氮共注SOI材料结构与注氮剂量研究 会议论文  OAI收割 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003 张恩霞; 易万兵; 陈孟; 张正选; 王曦; 张国强; 刘忠立; 范凯; 李宁 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 注氮剂量 氧氮共注 SIMON圆片