机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 注硅工艺对UNIBOND SOI材料抗辐照性能的影响 会议论文  OAI收割 第六届中国功能材料及其应用学术会议, 2007 武爱民; 陈静; 张恩霞; 杨慧; 张正选; 王曦 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 注硅工艺 智能剥离 硅离子注入 纳米晶 改性处理 抗辐照性能