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机构
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2003 [1]
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SOIM新结构与自加热效益
会议论文
OAI收割
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
谢欣云
;
林青
;
刘卫丽
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/18
SOIM 自加热效益 MEDICI软件 SOIM器件 氮氧离子共注入方法