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金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
学科主题
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共1条,第1-1条
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Synthesis of titanium nitride thin films deposited by a new shielded arc ion plating
期刊论文
OAI收割
Applied Surface Science, 2011, 卷号: 257, 期号: 13, 页码: 5694-5697
Y. H. Zhao
;
G. Q. Lin
;
J. Q. Xiao
;
W. C. Lang
;
C. A. Dong
;
J. Gong
;
C. Sun
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提交时间:2012/04/13
Shielded arc ion plating
TiN
Thin films
Deposition rate
Droplet
particles
Adhesion
cathodic arc
reactive vacuum