机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 超薄Si_3N_4/SiO_2叠层栅介质可靠性研究 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2007, 期号: 2 作者:  钟兴华;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2010/05/26 击穿  Si3n4/sio2（n/o）叠层  可靠性  应力诱生漏电流（silc)  Tddb特性