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Effect of O-2-doping on bonding configuration and electric properties of SiCOH films prepared by decamethylcyclopentasiloxane electron cyclotron resonance plasma 期刊论文  OAI收割
ACTA PHYSICA SINICA, 2007, 卷号: 56, 页码: 1172-1176
作者:  Wei Yong-Xia;  Qian Xiao-Mei;  Yu Xiao-Zhu;  Ye Chao;  Ning Zhao-Yuan
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