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• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2024 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序 Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2024, 卷号: 631, 页码: 8 作者:  Jing, Weichen;  Tariq, Naeem ul Haq;  Wang, Junchao;  Hou, Wenkang;  Xiong, Tianying   |  收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2025/04/27 SiC coating  SiOC buffer layer  MOCVD  Residual stress  Mechanical property