机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 微电子研究所 [1]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2013 [2]
• 2005 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35 作者:  张立平 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2014/03/07 ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能   基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35 作者:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2013/12/11 ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能  ZrN/α-SiNx nanoscaled multilayer films  bias voltage  mirostructure  mechanical and tribological properties   沉积温度对a-SiNx：H薄膜PL峰的影响 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 8, 页码: 5，1553-1557 作者:  王小波;  董立军;  陈大鹏;  刘渝珍   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/05/26 Lpcvd  纳米硅镶嵌结构  Sinx薄膜  可见荧光