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基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 691-695
作者:  
陈浩然;  缪磊;  董再励;  李文荣;  王越超
  |  收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2010/11/29