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力学研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2007 [1]
2006 [1]
学科主题
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Deflections and curvatures of a film-substrate structure with the presence of gradient stress in MEMS applications
期刊论文
OAI收割
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2007, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 753-762
作者:
Zhang Y(张吟)
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提交时间:2009/08/03
Thin-Films
Micromachined Beams
Residual-Stress
Cantilever Beam
Stoney Formula
Surface Stress
Strain
Bilayer
Systems
Model
Effect of compliant interface on the curvature and stress of micron-size film-substrate composite structure
会议论文
OAI收割
2006 IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics, ROBIO 2006, Kunming, China, December 17, 2006 - December 20, 2006
作者:
Liu Y
;
Zhang Y(张吟)
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/06/01
(abiotic and biotic) stress
Curvature (sori)
Error sources
General (CO)
interface layers
Interfacial slips
international conferences
Micron sizes
Stoney's formula
stress states
stress transfer