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机构
上海技术物理研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
学科主题
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固着磨料加工工艺对磷酸盐钕玻璃亚表面缺陷的影响
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 268, 272
张伟
;
朱健强
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提交时间:2009/09/18
材料
Detection
光学加工
Laser glass
亚表面损伤
Laser induced damage threshold
检测
Neodymium doped phosphate glasses
激光玻璃
Optical fabrication
激光损伤阈值
Subsurface damage (SSD)
Subsurface Damage Measurement in Silicon Wafers with Cross-Polarisation Confocal Microscopy
期刊论文
OAI收割
International Journal of Nanomanufacturing, 2006, 卷号: 1, 期号: 2, 页码: 272-282
-
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提交时间:2016/06/05
cross-polarisation confocal microscopy
grinding
manufacturing
damage measurement
nondestructive evaluation
NDE
silicon wafers
subsurface damage
SSD
semiconductor devices
nanomanufacturing