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Support compliance: A non-ignorable factor for cantilever sensors for MEMS application 期刊论文  OAI收割
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2022, 卷号: 346, 页码: 4
作者:  
Li, Diao-Feng;  Li, Nan;  Bai, Chun-Guang;  Zhang, Zhi-Qiang;  Zhao, Jian
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2023/05/09
Support compliance: A non-ignorable factor for cantilever sensors for MEMS application 期刊论文  OAI收割
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2022, 卷号: 346, 页码: 4
作者:  
Li, Diao-Feng;  Li, Nan;  Bai, Chun-Guang;  Zhang, Zhi-Qiang;  Zhao, Jian
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