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• 物理研究所 [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2010 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Gas pressure dependence of composition in Ta-Ti-N films prepared by pulsed high energy density plasma 期刊论文  OAI收割 MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 2010, 卷号: 124, 期号: 1, 页码: 287 Feng, WR; Zhou, H; Yang, SZ 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/09/17 RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY  TITANIUM CARBONITRIDE FILMS  BORON-NITRIDE FILMS  ROOM-TEMPERATURE  DIFFUSION BARRIER  THIN-FILMS  DEPOSITION  MICROSTRUCTURE  TANTALUM  COATINGS