机构

• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35 作者:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩 收藏  |  浏览/下载：130/0  |  提交时间：2013/12/10 磁控溅射  TiAlN 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  magnetron sputtering  TiAlN films  nitrogen flow  microstructure  hardness