机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Investigation on Behavior of Macro-Particles in TiN Film by Arc Ion Plating 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: 9, 页码: 7357-7362 Lang, W. C.; Gao, B.; Du, H.; Xiao, J. Q.; Li, M. X.; Wang, X. H. 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/04/21 Arc Ion Plating  Transverse Magnetic Field (TMF)  Pulsed Bias  Nitrogen Partial Pressure  Substrate Position  Macro-Particles Reduction