机构

• 上海微系统与信息技术... [2]
• 国家空间科学中心 [1]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [1]
• 2009 [2]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型高效率传输阵列天线研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016 作者:  刘广 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2016/07/15 传输阵列天线  微波网络理论  太赫兹  UV-LIGA  深反应离子刻蚀技术  高效率   Microfabrication of folded waveguide using UV-LIGA for 220 GHz traveling wave tube 期刊论文  OAI收割 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS, 2015, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 24101 作者:  Ma;  Tianjun;  Sun;  Jianhai;  Hao 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/04/18 Fabrication tolerances  Folded waveguides  Micro-fabrication techniques  Operating frequency  Polymer monofilaments  Process parameters  UV LIGA  Vacuum electron devices   硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/01/06 UV-LIGA  电镀  厚胶工艺  射频无源器件  微机械探卡   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械