机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/07/06 光刻投影物镜  X-Y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链   首页 上一页 1 下一页 末页