机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2013 [2]
• 2008 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35 作者:  张立平 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2014/03/07 ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能   基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35 作者:  胡明;  高晓明;  张立平 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2013/12/11 ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能  ZrN/α-SiNx nanoscaled multilayer films  bias voltage  mirostructure  mechanical and tribological properties   感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2008, 卷号: 057 作者:  刘峰   |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2020/10/26 感应耦合等离子体  磁控溅射  ZrN薄膜  微结构  性能