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数学与系统科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2018 [1]
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共1条,第1-1条
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Development of a Novel CMUT-Based Concentric Dual-Element Ultrasonic Transducer: Design, Fabrication, and Characterization
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 538-546
作者:
Zheng, Zhou
;
Na, Shuai
;
Chen, Albert I. -Hsiang
;
Li, Zhenhao
;
Wong, Lawrence L. P.
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提交时间:2018/07/30
Annular element
capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)
concentric
deep reactive-ion etching
dual-element
hybrid transducer