机构

• 物理研究所 [1]
• 化学研究所 [1]
• 生态环境研究中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2020 [1]
• 2013 [1]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 The application of the scallop nanostructure in deep silicon etching 期刊论文  OAI收割 NANOTECHNOLOGY, 2020, 卷号: 31, 期号: 31, 页码: 1-11 作者:  Lin, Yuanwei;  Yuan, Renzhi;  Zhou, Ce;  Dong, Zihan;  Su, Ziduo   |  收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2021/09/14 deep silicon etching  Bosch process  scallop nanostructure  fluorocarbon polymer  minimum effect   A simple and efficient method for preparing silicon nanopit arrays 期刊论文  OAI收割 ACTA PHYSICA SINICA, 2013, 卷号: 62, 期号: 15 Dai, LG; Xuan, MD; Ding, P; Jia, HQ; Zhou, JM; Chen, H 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2014/01/16 laser interference lithography  nanoarrays  etching  fluorocarbon organic polymer   Relationship between the structure of polymers with well-defined fluorocarbon segmental lengths and the formation of secondary ions in SIMS 期刊论文  OAI收割 SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2002, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 932-939 作者:  Zhou, H;  Chan, CM;  Weng, LT;  Ng, KM;  Li, L   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/04/09 Sims  Polymer  Structure  Fluorocarbon