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• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Monolithic Integration of Pressure Plus Acceleration Composite TPMS Sensors With a Single-Sided Micromachining Technology 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 2, 页码: 284-293 Wang, JC; Xia, XY; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2013/04/23 Accelerometer  front-side monolithic micromachining  piezoresistance  pressure sensor  sensor