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新疆理化技术研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2009 [1]
学科主题
Materials ... [1]
Physics [1]
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共2条,第1-2条
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Ni-Al-O diffusion barrier layer for high-kappa metal-oxide-semiconductor capacitor
期刊论文
OAI收割
THIN SOLID FILMS, 2011, 卷号: 519, 期号: 10, 页码: 3358-3362
作者:
Wu D. Q.
;
Jia R.
;
Yao J. C.
;
Zhao H. S.
;
Chang A. M.
收藏
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提交时间:2013/11/07
High-kappa gate dielectrics
Leakage current density
Er(2)O(3)
Ni-Al-O
Diffusion barrier layer
Leakage current mechanisms of ultrathin high-k Er2O3 gate dielectric film
期刊论文
OAI收割
Journal of Semiconductors, 2009, 卷号: 30, 期号: 10, 页码: 21-26
作者:
Wu, Deqi
;
Yao, Jincheng
;
Zhao, Hongsheng
;
Chang, Aimin
;
Li, Feng
收藏
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浏览/下载:31/0
  |  
提交时间:2014/11/11
Er_2O_3
high-kappa gate dielectrics
leakage current
leakage current mechanisms