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离子束流密度和基底温度对TiN纳米薄膜性能的影响 期刊论文  OAI收割
材料科学与工程学报, 2005, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 534-536
作者:  
王立平;  梁爱民
收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2014/03/03