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机构
半导体研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [2]
iSwitch采集 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2006 [3]
学科主题
半导体材料 [2]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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High quality microcrystalline si films by hydrogen dilution profile
期刊论文
iSwitch采集
Thin solid films, 2006, 卷号: 515, 期号: 2, 页码: 452-455
作者:
Gu, Jinhua
;
Zhu, Meifang
;
Wang, Liujiu
;
Liu, Fengzhen
;
Zhou, Bingqing
收藏
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提交时间:2019/05/12
Microcrystalline si thin film
Hydrogen dilution profiling
Incubation layer
Uniformity
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
期刊论文
OAI收割
thin solid films, 2006, 卷号: 515, 期号: 2, 页码: 452-455
Gu JH (Gu Jinhua)
;
Zhu MF (Zhu Meifang)
;
Wang LJ (Wang Liujiu)
;
Liu FZ (Liu Fengzhen)
;
Zhou BQ (Zhou Bingqing)
;
Ding K (Ding Kun)
;
Li GH (Li Guohua)
收藏
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提交时间:2010/04/11
microcrystalline Si thin film
hydrogen dilution profiling
incubation layer
uniformity
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THIN
ALLOYS
CVD
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
会议论文
OAI收割
12th international conference on thin films, bratislava, slovakia, sep 15-20, 2002
Gu, JH (Gu, Jinhua)
;
Zhu, MF (Zhu, Meifang)
;
Wang, LJ (Wang, Liujiu)
;
Liu, FZ (Liu, Fengzhen)
;
Zhou, BQ (Zhou, Bingqing)
;
Ding, K (Ding, Kun)
;
Li, GH (Li, Guohua)
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提交时间:2010/03/29
microcrystalline Si thin film