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• 西安光学精密机械研究... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Determination of Young's modulus of micromechanical silicon films using an acoustic excitation and optical detection resonance method 期刊论文  OAI收割 measurement technology and intelligent instruments vi, 2005, 卷号: 295-296, 页码: 57-62 作者:  Liu, YM;  Tian, WJ;  Zhang, SJ 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/08/14 micromechanical silicon film  Young's modulus  acoustic excitation  optical detection